X射线光电子能谱仪成分分析,XPS检测元素价态
广东省科学院是广东省政府的直属科研机构， 技术力量雄厚， 拥奋国家级创新平台14个， 省部级创新平台86个． 广东省半导体产业技术研究院是直属于广东省科学院的独立法入骨干科研院所， 是中国有色金属学会宽禁带半导体专业委员会的挂靠单位， 立足于半导体照明和第三代半导体基础研究及严业化应用技术开发， 凋高一支结构合理、高水平的人才队伍， 平台基础条件完善， 设备总价值近7500万元．
设备名称：X射线光电子能谱仪/紫外光电子能谱仪（XPS/UPS）
设备型号：Nexsa
设备厂商：ThermoFisher
X射线光电子能谱仪/紫外光电子能谱仪（XPS/UPS）利用X射线（或紫外线）照射样品激发出光电子，并通过检测和分析光电子动能大小与光电子信号强度的关系，确定样品中所含元素种类及其化学态。Nexsa具备XPS、UPS功能。可采用微聚焦小光斑实现微区成像与成分分析，并具有深度剖析功能。可以检测分析块体、薄膜、粉末或器件等固体样品的元素组成、化学价态、价带、功函数等信息。
应用领域：
XPS:
元素种类以及含量半定量
化学价态、化学键分析
元素浓度随深度分布
不同化学态的各种元素在表面分布成像
材料或器件的微区分析
薄层成分、膜层厚度以及界面结构、元素偏析迁移等消息
器件表面不同位置的镀层结构或污染来源
UPS:
价电子能带谱
功函数
